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洁净室工艺管道等级是依据什么分级?

文章来源:未知 日期:2013-06-26

  洁净室的环境主要品质是洁净度即对空气的微粒浓度的要求,但是由于在净化处理中所进行的工作往往具有特殊性,所以洁净管道有着独立、专业性强特点,按照规定洁净室工艺来对洁净管道进行设计,就是依据洁净室工艺管道等级的进行分级。

  1.乱流式

  空气由空调箱经风管与洁净室工艺管道配件进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。

  2.层流式:

  层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:

  (1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

  (2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

  3.复合式

  复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易,B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

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