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半导体高纯气体输送洁净管道如何避免微粒污染

文章来源:未知 日期:2020-03-27

  半导体高纯气体输送洁净管道微粒污染源来自两个方面:一是粘附在管壁上的微粒 ,二是因磨损或腐蚀等原因管壁产生的微粒。

半导体高纯气体输送洁净管道如何避免微粒污染

  在配管系统上应分段设置过滤器来去除微粒,通常应采用两级以上的气体过滤。在洁净厂房内一般设置预过滤器和高精度末端气体过滤器,预过滤器是设在洁净厂房的气体入口室的气体干管上,对气体进行预过滤,以减轻末端气体过滤器的负担,并延长其使用寿命,高精度末端气体过滤器应设在邻近用气点处。

  在系统设计中,应充分考虑系统末端的放散管,各主管和支干管末端的吹扫阀及必要的取样口,为运行前的吹扫、置换和维修带来方便,系统中应减少不流动气体的死空间,不应出现盲管等不易吹除的死角,以避免微粒的积聚。

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