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超纯水系统管道的工艺使用与施工管理

文章来源:未知 日期:2013-06-25

  超纯水主要应用于半导体生产中圆片的清洗,且用量较大,其制程也较为复杂为满足工艺设备对水质的要求,必须考虑输送材料、流速、合理的输送系统设计。圆片制造中设备需要的气体、纯水、化学品、冷却水都是通过管路输送的,因此,优质的超纯水系统管道依赖于优质工艺设计与施工管理。

  超纯水的回收再利用已经成为超纯水系统管道设计必不可缺的一部分。一般而言,大部分指标都优于市政供水,只要有针对性地设计一些净化设备,完全可以将超过70%的超纯水供水回收再利用,达到节水环保的目的。当然,回收率越高,其设备投资及操作运行成本也越高。

  一个完整的超纯水系统的设计除了生产流程外,供水管道的设计也必不可少。洁净管道的设计既要满足工艺使用点的流量和压力要求,更要保证生产出的超纯水在经过管道的分配输送后品质不受污染。

  本设计根据水质要求采用以下措施保证超纯水系统管道在工艺使用点的品质:

  (1)选用HP—PVDF管材和阀门管件,采用红外线热融连接,尽可能避免管道材料中的杂质溶出污染水质。

  (2)供水管路流速控制在1.2 2.4m/s,减少超纯水在循环管网内的停留时间,抑制有机物和细菌数的升高。

  (3)避免出现流体死角,滋生细菌。可能产生流体死角的长度不得超过后段管道直径的1.5倍。设计中选用隔膜阀,既便于调节流量,又可避免出现流体死角。

  (4)在每一路支管的根部设计杀菌消毒接口和排放口,可以在某一路支管受到污染时及时处理,避免影响整个管网。杀菌消毒可选用臭氧或双氧水。

  超纯水系统施工管理涉及的面很广,因为篇幅及作者水平有限,仅对本工程质量管理和安全管理的一些特殊性作一个初步探讨。

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