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超纯水系统管道总体工艺介绍

文章来源:未知 日期:2013-06-05

  随着电子工业的发展,在芯片的生产加工过程中,对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,高纯水也是其中最关键的因素之一。高纯水系统管道是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。

  超纯水系统管道总体来说一般可分为三个部分:超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区最为复杂其又可分为:预处理、一次纯水处理管道、超纯水处理管道三个部分。

  超纯水系统管道预处理部分主要包括:沙滤、活性炭塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水部分主要包括:阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;超纯水管道部分主要包括:MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中,输水管道会对水质再次造成污染,因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心,再加上超滤设备(UF),以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中,管网溶入水中的杂质。

  总之在超纯水系统管道施工过程中,除了要满足管道系统的密闭要求外,更重要的就是要注意提高施工人员的洁净意识,使他们能自觉的按照洁净管道施工要求去做,根据水处理不同阶段的不同要求进行施工,以避免因施工不当对管道造成污染,使得处理水质达不到业主要求,引起质量事故的发生。

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