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电子特气洁净管道系统氦检漏方法

文章来源:未知 日期:2019-12-30

  电子特气洁净管道系统氦检漏方法种类:

  电子特气洁净管道系统氦检漏顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

  1、内向检漏法采用管道内部抽真空,外部喷氦气的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。

  2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。

  3、外向检漏法应采用管路内部充氦气或氦氮混合气,外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。

电子特气洁净管道系统氦检漏方法

  电子特气洁净管道系统氦检漏检测规定:

  1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

  2、特气系统,内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s。

  3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

  4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

  电子特气洁净管道系统氦检漏注意事项:

  氦检漏发现的泄漏点经修补后,应重新经过气密性试验,合格后再按规定进行氦检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕,应充入高纯氮气或氩气进行吹扫。测试完毕后,应提交测试报告。

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