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高纯气体洁净管道安装对材质的要求

文章来源:未知 日期:2019-12-09

  对输送高纯气体洁净管道而言,其影响气体质量的洁净管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。

  气体渗透性

  对于输送ppm级及更高纯度要求的气体,从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管

  出气速率

  通常低碳不锈钢管的出气速率极低。

高纯气体洁净管道安装对材质的要求

  吸附性

  除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外,高纯气体都不采用铜管和塑料管,气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料。

  表面粗糙度和耐磨性

  为了确保输送的气体纯净度,要求洁净管道材料内表面有一个极高的光洁度,这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留,可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨,可以在气流高速冲刷下,产生的金属粒子就少,不锈钢比铜管产生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。

  抗腐蚀性

  微电子生产中,经常使用一些腐蚀性很强的气体,这时必须采用耐腐蚀的管材,否则洁净管道会被腐蚀,轻则表面产生锈斑,重则洁净管道大面积剥落、穿孔,不但污染气体,还会发生安全事故。

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