高纯气体洁净管道安装对材质的要求

文章来源：未知日期：2019-12-09

　　对输送高纯气体洁净管道而言，其影响气体质量的洁净管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。

　　气体渗透性

　　对于输送ppm级及更高纯度要求的气体，从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管

　　出气速率

　　通常低碳不锈钢管的出气速率极低。

高纯气体洁净管道安装对材质的要求

　　吸附性

　　除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料。

　　表面粗糙度和耐磨性

　　为了确保输送的气体纯净度，要求洁净管道材料内表面有一个极高的光洁度，这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留，可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨，可以在气流高速冲刷下，产生的金属粒子就少，不锈钢比铜管产生粒子要少，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。

　　抗腐蚀性

　　微电子生产中，经常使用一些腐蚀性很强的气体，这时必须采用耐腐蚀的管材，否则洁净管道会被腐蚀，轻则表面产生锈斑，重则洁净管道大面积剥落、穿孔，不但污染气体，还会发生安全事故。