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洁净气体管道材质及施工要求

文章来源:未知 日期:2013-10-14

管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时,管材所吸附的气体又形成降压解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时,吸附、解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末,这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度,不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度,而且,应当具有很高的耐磨特性。

洁净室管道工艺管道之气体管道的材质则依使用的需求进行选择,316L BA管常使用于和芯片接触但并不参与过程反应的气体。洁净管道管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。

洁净气体管道在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时,

洁净气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点,为了达到仪器对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业准则,并注明管道材质。 

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