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高纯水洁净管道工程中配管参考说明

文章来源:未知 日期:2013-06-07

  所有高纯度、高洁净的排水均需通过管路输送到设备用点,为了达到工艺对管道的质量要求,在管道出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

  高纯水管道工程材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应管道则选择高等级的316L EP管,经电解拋光处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,其值远低于经过光辉烧结处理之316L BA管的0.8µm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的管道。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。

  针对腐蚀性、毒性、燃烧性的高纯水管道工程,通常设计透过管路将管道供应至现场附近的阀箱,会有独立的管道控制盘与制程控制模块联机,以质流控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此管道控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。不锈钢洁净管道用于输送半导体业中高纯或超纯洁净管道,及生物制药产业中洁净管道。

  纯气配管技术是高纯管道供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯管道送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯管道的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使高纯水管道的配管技术日益受到关注和重视。

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